Kapasitif sensörün iç yapısında elektrot, osilatör, tetikleme ve çıkış katları bulunmaktadır ve sensör havayı dielektrik olarak kabul eden bu RC osilatörü vasıtasıyla kapasitif alan oluşturur. Osilatördaki kapasitörün değeri algılama mesafesinde cisim olmadığı takdirde salınım gerçekleştiremeyecek kadar büyük seçilmiştir. Fakat bu kapasitif alanın içine giren metal veya metal olmayan cisimler, dielektrik seviyesinin değişimine sebep olur, kapasite artmaya ve osilatör de yüksek genlikle salınıma başlar. Osilasyon frekansındaki bu değişim vasıtasıyla sensör algılamasını yapmaktadır. Dielektrik seviyesi (kapasite) değişikliğini etkileyen faktörler :
1. Algılama yüzeyi önündeki cismin uzaklığı ve konumu
2. Cismin boyutları ve şekli
3. Cismin dielektrik katsayısı
Ayrıca sensörün arka kısmında bulunan potansiyometre vasıtasıyla hissetme mesafesi ayarlanabilmektedir. Normal çevre koşullarında ve açık alanda, etkin yüzey üzerinde önlenemeyen nem yoğuşması veya toz birikmesi sebebiyle kapasitif yaklaşım anahtarlarında birleştirilmiş iki elektroda ek olarak yoğuşmanın veya kirlenmenin oluşturacağı kapasite değişimlerini kompanze etmek için devreye bir de kompanzasyon elektrotu konulmuştur.
Kapasitif sensör tüm cisimleri algılar, endüktif sensör ise sadece metalleri algılar.
